Πίνακας περιεχομένων:
Ορισμός - Τι σημαίνει νανολιθογραφία;
Η νανολιθογραφία είναι κλάδος της νανοτεχνολογίας και το όνομα της διαδικασίας αποτύπωσης, γραφής ή χάραξης σε μικροσκοπικό επίπεδο, προκειμένου να δημιουργηθούν απίστευτα μικρές δομές. Αυτή η διαδικασία χρησιμοποιείται συνήθως για τη δημιουργία μικρότερων και ταχύτερων ηλεκτρονικών συσκευών, όπως micro / nanochips και επεξεργαστές. Η νανολιθογραφία χρησιμοποιείται κυρίως σε διάφορους τομείς της τεχνολογίας, από την ηλεκτρονική μέχρι τη βιοϊατρική.Η Techopedia εξηγεί τη νανολιθογραφία
Η νανολιθογραφία είναι ένας ευρύς όρος που χρησιμοποιείται για να περιγράψει διάφορες διαδικασίες για τη δημιουργία σχεδίων νανοκλίμακας σε διαφορετικά μέσα, το πιο συνηθισμένο από τα οποία είναι το πυριτικό υλικό ημιαγωγού. Ο κυρίαρχος σκοπός της νανολιθογραφίας είναι η συρρίκνωση των ηλεκτρονικών συσκευών, η οποία επιτρέπει τη συγκράτηση περισσότερων ηλεκτρονικών εξαρτημάτων σε μικρότερους χώρους, δηλαδή μικρότερα ολοκληρωμένα κυκλώματα που οδηγούν σε μικρότερες συσκευές, οι οποίες είναι ταχύτερες και φθηνότερες στην κατασκευή, καθώς απαιτούνται λιγότερα υλικά. Αυτό επίσης αυξάνει τους χρόνους απόδοσης και απόκρισης, επειδή τα ηλεκτρόνια πρέπει να ταξιδεύουν μόνο σε πολύ μικρές αποστάσεις.
Ορισμένες τεχνικές που χρησιμοποιούνται στη νανολιθογραφία έχουν ως εξής:
- Λιθογραφία ακτίνων Χ - Εφαρμόζεται μέσω προσέγγισης εκτύπωσης εγγύτητας και βασίζεται σε ακτίνες Χ κοντά στο πεδίο σε περίθλαση Fresnel. Είναι γνωστό να επεκτείνει την οπτική του ανάλυση στα 15 nm.
- Διπλό μοτίβο - Μια μέθοδος που χρησιμοποιείται για την αύξηση της ανάλυσης αντοχής μιας λιθογραφικής διαδικασίας εκτυπώνοντας πρόσθετα μοτίβα μεταξύ των διαστημάτων των ήδη τυπωμένων μοτίβων στο ίδιο στρώμα.
- Λιθογραφία άμεσης γραφής δέσμης ηλεκτρονίων (EBDW) - Η συνηθέστερη διαδικασία που χρησιμοποιείται στη λιθογραφία, η οποία χρησιμοποιεί δέσμη ηλεκτρονίων για τη δημιουργία μοτίβων.
- Ακραία υπεριώδης (EUV) λιθογραφία - Μία μορφή οπτικής λιθογραφίας που χρησιμοποιεί εξαιρετικά μικρά μήκη κύματος φωτός 13, 5 nm.
