Πίνακας περιεχομένων:
- Ορισμός - Τι σημαίνει Extreme Ultraviolet Lithography (EUVL);
- Η Techopedia εξηγεί την εξαιρετική υπεριώδη λιθογραφία (EUVL)
Ορισμός - Τι σημαίνει Extreme Ultraviolet Lithography (EUVL);
Η εξαιρετική υπεριώδης λιθογραφία (EUVL) είναι μια προηγμένη τεχνική λιθογραφίας υψηλής ακρίβειας που επιτρέπει την κατασκευή μικροτσίπ με χαρακτηριστικά αρκετά μικρά ώστε να υποστηρίζει ταχύτητες ρολογιού 10 Ghz.
Η EUVL χρησιμοποιεί υπερ-φορτισμένο αέριο xenon, το οποίο εκπέμπει υπεριώδες φως και χρησιμοποιεί πολύ ακριβείς μικρο-καθρέπτες για να εστιάσει το φως στο πλακίδιο πυριτίου για να παράγει ακόμα πιο λεπτά πλάτη χαρακτηριστικών.
Η Techopedia εξηγεί την εξαιρετική υπεριώδη λιθογραφία (EUVL)
Αντίθετα, η τεχνολογία EUVL χρησιμοποιεί μια πηγή υπεριώδους φωτός και φακούς για την εστίαση του φωτός. Αυτό δεν είναι τόσο ακριβές λόγω του περιορισμού των φακών.
Η διαδικασία EUVL έχει ως εξής:
- Ένα λέιζερ κατευθύνεται στο αέριο xenon, το οποίο θερμαίνει για να δημιουργήσει πλάσμα.
- Το πλάσμα εκπέμπει φως στα 13 νανόμετρα.
- Το φως συγκεντρώνεται σε ένα συμπυκνωτή και στη συνέχεια κατευθύνεται σε μια μάσκα που περιέχει τη διάταξη της πλακέτας κυκλώματος. Η μάσκα είναι στην πραγματικότητα απλώς μια αναπαράσταση μοτίβου ενός μόνο στρώματος του τσιπ. Αυτό δημιουργείται με την εφαρμογή ενός απορροφητήρα σε ορισμένα μέρη του καθρέφτη, αλλά όχι σε άλλα μέρη, δημιουργώντας το μοτίβο κυκλώματος.
- Το μοτίβο της μάσκας αντανακλάται σε μια σειρά από τέσσερις έως έξι καθρέφτες, οι οποίοι γίνονται σταδιακά μικρότεροι προκειμένου να συρρικνωθεί το μέγεθος της εικόνας πριν επικεντρωθεί στην πλάκα πυριτίου. Ο καθρέφτης λυγίζει ελαφρώς το φως για να σχηματίσει την εικόνα, μοιάζει πολύ με το πώς οι φακοί μιας κάμερας λειτουργούν για να κάμψουν το φως και να βάλουν μια εικόνα στην ταινία.
